功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
8期
1246-1248
,共3页
刘化然%盛英卓%宋宇%杨伟峰%李金荣%黄鹏%冯博学
劉化然%盛英卓%宋宇%楊偉峰%李金榮%黃鵬%馮博學
류화연%성영탁%송우%양위봉%리금영%황붕%풍박학
NiOx%射频溅射%电致变色%氧分压
NiOx%射頻濺射%電緻變色%氧分壓
NiOx%사빈천사%전치변색%양분압
采用射频溅射法在SnO2衬底上生长了NiOx薄膜,制备的薄膜是非理想化学计量的微晶薄膜.研究了氧分压对NiOx薄膜的溅射速率、表面形貌和光学电学特性的影响.研究结果显示,O2分压在1∶10时,可得到最快的沉积速率;低的氧分压沉积的薄膜表面比较疏松;随着氧含量的增加,方块电阻呈上升趋势,当氧分压达到一定值时,膜电阻又开始下降;随着氧分压的升高,颜色会逐渐加深,透射率降低.
採用射頻濺射法在SnO2襯底上生長瞭NiOx薄膜,製備的薄膜是非理想化學計量的微晶薄膜.研究瞭氧分壓對NiOx薄膜的濺射速率、錶麵形貌和光學電學特性的影響.研究結果顯示,O2分壓在1∶10時,可得到最快的沉積速率;低的氧分壓沉積的薄膜錶麵比較疏鬆;隨著氧含量的增加,方塊電阻呈上升趨勢,噹氧分壓達到一定值時,膜電阻又開始下降;隨著氧分壓的升高,顏色會逐漸加深,透射率降低.
채용사빈천사법재SnO2츤저상생장료NiOx박막,제비적박막시비이상화학계량적미정박막.연구료양분압대NiOx박막적천사속솔、표면형모화광학전학특성적영향.연구결과현시,O2분압재1∶10시,가득도최쾌적침적속솔;저적양분압침적적박막표면비교소송;수착양함량적증가,방괴전조정상승추세,당양분압체도일정치시,막전조우개시하강;수착양분압적승고,안색회축점가심,투사솔강저.
