江西科学
江西科學
강서과학
JIANGXI SCIENCE
2008年
2期
208-211
,共4页
邹彬%韩敬%丁可%施芸城%陆彦钧
鄒彬%韓敬%丁可%施蕓城%陸彥鈞
추빈%한경%정가%시예성%륙언균
空心阴极放电%数值模拟%粒子模拟
空心陰極放電%數值模擬%粒子模擬
공심음겁방전%수치모의%입자모의
应用粒子模拟软件对空心阴极放电进行粒子模拟,得到放电稳定状态时的电势分布和带电粒子的密度分布.利用模拟结果研究了放电电压为-800 V,气压为1 Torr,基板偏压为-250 V和-400 V放电条件下的空心阴极放电特性.结果表明,放电中存在空心阴极效应,放电时的等离子体区在阴极管的中心轴附近,且改变基板偏压对电子密度、粒子密度的空间分布有所影响,随着基板负偏压增加更有利于沉积均匀致密的薄膜.
應用粒子模擬軟件對空心陰極放電進行粒子模擬,得到放電穩定狀態時的電勢分佈和帶電粒子的密度分佈.利用模擬結果研究瞭放電電壓為-800 V,氣壓為1 Torr,基闆偏壓為-250 V和-400 V放電條件下的空心陰極放電特性.結果錶明,放電中存在空心陰極效應,放電時的等離子體區在陰極管的中心軸附近,且改變基闆偏壓對電子密度、粒子密度的空間分佈有所影響,隨著基闆負偏壓增加更有利于沉積均勻緻密的薄膜.
응용입자모의연건대공심음겁방전진행입자모의,득도방전은정상태시적전세분포화대전입자적밀도분포.이용모의결과연구료방전전압위-800 V,기압위1 Torr,기판편압위-250 V화-400 V방전조건하적공심음겁방전특성.결과표명,방전중존재공심음겁효응,방전시적등리자체구재음겁관적중심축부근,차개변기판편압대전자밀도、입자밀도적공간분포유소영향,수착기판부편압증가경유리우침적균균치밀적박막.
