稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2007年
z3期
547-550
,共4页
尹盛%王敬义%李战春%张繁%沈亮%赵伯芳
尹盛%王敬義%李戰春%張繁%瀋亮%趙伯芳
윤성%왕경의%리전춘%장번%침량%조백방
粉粒表面刻蚀%刻蚀提纯%太阳级硅%直流等离子体
粉粒錶麵刻蝕%刻蝕提純%太暘級硅%直流等離子體
분립표면각식%각식제순%태양급규%직류등리자체
介绍了一种用直流氩等离子体对硅粉刻蚀提纯的方法.实验结果表明硅粉纯度可由99.6%提高到99.95%.处理后的硅粉还可进行熔化-固化-粉碎再处理,因此这是一种技术上可行的太阳级硅制备新方法.文中还应用反应室鞘层厚度、硅粉沉降平均速度、考虑高能中性粒子刻蚀作用的刻蚀速率方程等进行理论分析,结果显示,在一定的工艺参数下,刻蚀提纯是有效的,并与实验结果相近.这也为粉体表面刻蚀研究提供了一种新的手段.
介紹瞭一種用直流氬等離子體對硅粉刻蝕提純的方法.實驗結果錶明硅粉純度可由99.6%提高到99.95%.處理後的硅粉還可進行鎔化-固化-粉碎再處理,因此這是一種技術上可行的太暘級硅製備新方法.文中還應用反應室鞘層厚度、硅粉沉降平均速度、攷慮高能中性粒子刻蝕作用的刻蝕速率方程等進行理論分析,結果顯示,在一定的工藝參數下,刻蝕提純是有效的,併與實驗結果相近.這也為粉體錶麵刻蝕研究提供瞭一種新的手段.
개소료일충용직류아등리자체대규분각식제순적방법.실험결과표명규분순도가유99.6%제고도99.95%.처리후적규분환가진행용화-고화-분쇄재처리,인차저시일충기술상가행적태양급규제비신방법.문중환응용반응실초층후도、규분침강평균속도、고필고능중성입자각식작용적각식속솔방정등진행이론분석,결과현시,재일정적공예삼수하,각식제순시유효적,병여실험결과상근.저야위분체표면각식연구제공료일충신적수단.
