大众科技
大衆科技
대음과기
DAZHONG KEJI
2007年
10期
112-113,125
,共3页
蓝宝石%化学机械抛光%纳米硅溶胶
藍寶石%化學機械拋光%納米硅溶膠
람보석%화학궤계포광%납미규용효
对蓝宝石衬底片的化学机械抛光进行了研究.系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数,通过大量实验总结出了其影响因素并提出了优化方案,结果表明,采用粒径为40nm、低分散度的SiO2溶胶磨料并配合以适当参数进行抛光,可以获得良好的表面状态和较高的去除速率.能够有效提高蓝宝石表面的性能及加工效率.
對藍寶石襯底片的化學機械拋光進行瞭研究.繫統地分析瞭藍寶石拋光工藝過程的性能參數,通過大量實驗總結齣瞭其影響因素併提齣瞭優化方案,結果錶明,採用粒徑為40nm、低分散度的SiO2溶膠磨料併配閤以適噹參數進行拋光,可以穫得良好的錶麵狀態和較高的去除速率.能夠有效提高藍寶石錶麵的性能及加工效率.
대람보석츤저편적화학궤계포광진행료연구.계통지분석료람보석포광공예과정적성능삼수,통과대량실험총결출료기영향인소병제출료우화방안,결과표명,채용립경위40nm、저분산도적SiO2용효마료병배합이괄당삼수진행포광,가이획득량호적표면상태화교고적거제속솔.능구유효제고람보석표면적성능급가공효솔.
