利用飞行时间质谱研究热阴极蒸发特性
이용비행시간질보연구열음겁증발특성
Time of Flight Mass Spectroscopy Study of Thermonic Cathode Evaporation
  • 万方数据
    真空科学与技术学报 진공과학여기술학보
    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2007年 5期 437-441 ,共5页

    刘燕文%田宏%韩勇%陆玉新%赵青兰%徐振英%孟鸣凤%张哓伟%王晓艳%张洪来

    류연문%전굉%한용%륙옥신%조청란%서진영%맹명봉%장효위%왕효염%장홍래

    阴极蒸发%飞行时间质谱%蒸发速率%离子流 陰極蒸髮%飛行時間質譜%蒸髮速率%離子流
    음겁증발%비행시간질보%증발속솔%리자류
    提出了采用飞行时间质谱(ToFMS)分析阴极蒸发的成分和速率的新方法.利用ToFMS测试了真空本底、氧化物阴极、浸渍阴极、覆膜阴极等各种阴极蒸发物的成分.研究了阴极蒸发速率与阴极温度和加热时间的关系.比较了不同阴极蒸发速率的大小.实验结果表明ToFMS是一种非常快捷的研究阴极蒸发的实验手段.最后,研究了阴极各种成分离子峰强度与电离电压的关系.
    제출료채용비행시간질보(ToFMS)분석음겁증발적성분화속솔적신방법.이용ToFMS측시료진공본저、양화물음겁、침지음겁、복막음겁등각충음겁증발물적성분.연구료음겁증발속솔여음겁온도화가열시간적관계.비교료불동음겁증발속솔적대소.실험결과표명ToFMS시일충비상쾌첩적연구음겁증발적실험수단.최후,연구료음겁각충성분리자봉강도여전리전압적관계.
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