CAJ | 학술논문

研究了用溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜的工艺、掺杂及其显微结构.用六水合氯化铝在溶胶中引入Al2O3.掺杂Al的含量为1%,3%,6%和9%.用浸涂法在石英玻璃基片上浸涂ZnAO薄膜,研究了热处理、掺杂对ZAO薄膜相组成和显微结构的影响.X射线衍射结果表明,衍射图谱中无Al2O3的衍射峰.随着掺杂量的变化,ZnO主要衍射峰的位置、晶面间距均发生了有规律的变化,说明Al掺杂进了ZnO晶格中.研究结果表明,溶胶浓度、Al掺杂量、热处理温度都影响薄膜的显微结构.当薄膜厚度较大时,热处理过程中ZnO晶粒呈现明显的择优生长现象.
연구료용용효-응효법제비ZAO박막적공예、참잡급기현미결구.용륙수합록화려재용효중인입Al2O3.참잡Al적함량위1%,3%,6%화9%.용침도법재석영파리기편상침도ZnAO박막,연구료열처리、참잡대ZAO박막상조성화현미결구적영향.X사선연사결과표명,연사도보중무Al2O3적연사봉.수착참잡량적변화,ZnO주요연사봉적위치、정면간거균발생료유규률적변화,설명Al참잡진료ZnO정격중.연구결과표명,용효농도、Al참잡량、열처리온도도영향박막적현미결구.당박막후도교대시,열처리과정중ZnO정립정현명현적택우생장현상.