真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
4期
336-340
,共5页
范玉锋%夏星%刘纯亮%张劲涛
範玉鋒%夏星%劉純亮%張勁濤
범옥봉%하성%류순량%장경도
等离子体显示器%保护膜%Sc2O3掺杂%着火电压
等離子體顯示器%保護膜%Sc2O3摻雜%著火電壓
등리자체현시기%보호막%Sc2O3참잡%착화전압
MgO介质保护膜掺杂可以改变其性能,基于这一现象,本文利用电子束加热蒸镀法,在多种掺杂比和多种工艺条件下制备了MgO介质保护膜和宏单元气体放电屏.利用扫描电子显微镜(SEM)对制备的复合介质保护膜样品的进行了微观表征,并且,利用宏单元气体放电实验屏研究了介质保护膜的气体放电特性.结果表明:与纯MgO介质保护膜相比,掺杂Sc2O3的介质保护膜具有较好的性能.
MgO介質保護膜摻雜可以改變其性能,基于這一現象,本文利用電子束加熱蒸鍍法,在多種摻雜比和多種工藝條件下製備瞭MgO介質保護膜和宏單元氣體放電屏.利用掃描電子顯微鏡(SEM)對製備的複閤介質保護膜樣品的進行瞭微觀錶徵,併且,利用宏單元氣體放電實驗屏研究瞭介質保護膜的氣體放電特性.結果錶明:與純MgO介質保護膜相比,摻雜Sc2O3的介質保護膜具有較好的性能.
MgO개질보호막참잡가이개변기성능,기우저일현상,본문이용전자속가열증도법,재다충참잡비화다충공예조건하제비료MgO개질보호막화굉단원기체방전병.이용소묘전자현미경(SEM)대제비적복합개질보호막양품적진행료미관표정,병차,이용굉단원기체방전실험병연구료개질보호막적기체방전특성.결과표명:여순MgO개질보호막상비,참잡Sc2O3적개질보호막구유교호적성능.
