物理学报
物理學報
물이학보
2007年
1期
371-375
,共5页
王俊忠%吉元%王晓冬%刘志民%罗俊锋%李志国
王俊忠%吉元%王曉鼕%劉誌民%囉俊鋒%李誌國
왕준충%길원%왕효동%류지민%라준봉%리지국
电子背散射衍射%互连线%显微结构%电徙动
電子揹散射衍射%互連線%顯微結構%電徙動
전자배산사연사%호련선%현미결구%전사동
利用电子背散射衍射(EBSD)技术,测量了由反应离子刻蚀工艺(RIE)制备的Al互连线和大马士革工艺(Damascene)制备的Cu互连线的显微结构,包括晶粒尺寸、晶体学取向和晶界特征.分析了Cu互连线线宽,及Al和Cu互连线退火工艺对互连线显微结构及电徙动失效的影响.
利用電子揹散射衍射(EBSD)技術,測量瞭由反應離子刻蝕工藝(RIE)製備的Al互連線和大馬士革工藝(Damascene)製備的Cu互連線的顯微結構,包括晶粒呎吋、晶體學取嚮和晶界特徵.分析瞭Cu互連線線寬,及Al和Cu互連線退火工藝對互連線顯微結構及電徙動失效的影響.
이용전자배산사연사(EBSD)기술,측량료유반응리자각식공예(RIE)제비적Al호련선화대마사혁공예(Damascene)제비적Cu호련선적현미결구,포괄정립척촌、정체학취향화정계특정.분석료Cu호련선선관,급Al화Cu호련선퇴화공예대호련선현미결구급전사동실효적영향.
