团簇离子束技术的应用进展
단족리자속기술적응용진전
A Study on the Structure Properties of the Cluster and Its Application in the Preparation Film by Ionized Cluster Beam
  • 万方数据
    材料导报 재료도보
    MATERIALS REVIEW
    2006年 4期 82-85 ,共4页

    侯爱国%吴卫东%王红斌%王万录%廖克俊%方亮%唐永健

    후애국%오위동%왕홍빈%왕만록%료극준%방량%당영건

    团簇离子束%电子结构%薄膜 糰簇離子束%電子結構%薄膜
    단족리자속%전자결구%박막
    薄膜的制备方法对薄膜的性能和应用有很大影响,精密的电子器件、光学装置等越来越需要高品质的薄膜,这些都需要采用先进的制备方法来制备.结合近年来实验、计算机模拟及理论计算等各方面的研究结果,对应用团簇离子束法制备薄膜及研究团簇粒子方面的研究进展进行了评述,分析了影响薄膜性能的因素,并初步探讨了其成膜机理及团簇粒子的性质.
    박막적제비방법대박막적성능화응용유흔대영향,정밀적전자기건、광학장치등월래월수요고품질적박막,저사도수요채용선진적제비방법래제비.결합근년래실험、계산궤모의급이론계산등각방면적연구결과,대응용단족리자속법제비박막급연구단족입자방면적연구진전진행료평술,분석료영향박막성능적인소,병초보탐토료기성막궤리급단족입자적성질.
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