材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2006年
2期
118-120,125
,共4页
宁智华%王治国%傅永庆%祖小涛
寧智華%王治國%傅永慶%祖小濤
저지화%왕치국%부영경%조소도
TiNi基形状记忆合金%薄膜%制备%微驱动器
TiNi基形狀記憶閤金%薄膜%製備%微驅動器
TiNi기형상기억합금%박막%제비%미구동기
TiNi基形状记忆合金薄膜除具有和体材料相同的形状记忆特性外,还因表面积大、散热能力好,改善了体材料响应速度较慢的缺点,在微电子机械系统领域是一种具有广阔应用前景的材料.综述了近年来TiNi基形状记忆合金薄膜研究现状,并对其应用进行了评述.
TiNi基形狀記憶閤金薄膜除具有和體材料相同的形狀記憶特性外,還因錶麵積大、散熱能力好,改善瞭體材料響應速度較慢的缺點,在微電子機械繫統領域是一種具有廣闊應用前景的材料.綜述瞭近年來TiNi基形狀記憶閤金薄膜研究現狀,併對其應用進行瞭評述.
TiNi기형상기억합금박막제구유화체재료상동적형상기억특성외,환인표면적대、산열능력호,개선료체재료향응속도교만적결점,재미전자궤계계통영역시일충구유엄활응용전경적재료.종술료근년래TiNi기형상기억합금박막연구현상,병대기응용진행료평술.
