微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
1期
52-55
,共4页
王嘉力%高晓辉%姜力%刘宏
王嘉力%高曉輝%薑力%劉宏
왕가력%고효휘%강력%류굉
薄膜%应变计%力传感器%MEMS
薄膜%應變計%力傳感器%MEMS
박막%응변계%력전감기%MEMS
提出了在铝合金基体上磁控溅射80Ni20Cr薄膜电阻应变计的加工工艺,说明了其工艺的实现步骤.采用低弹性模量的铝合金制作力传感器的弹性体可以提高力/力矩传感器的灵敏度.提出了一种适合MEMS加工的全平面的力/力矩传感器弹性体结构.并介绍了薄膜电阻应变计构成的微型六维力传感器和薄膜厚度的测量手段.通过实验证实,此种薄膜工艺的应用提高了力传感器的测量精度.
提齣瞭在鋁閤金基體上磁控濺射80Ni20Cr薄膜電阻應變計的加工工藝,說明瞭其工藝的實現步驟.採用低彈性模量的鋁閤金製作力傳感器的彈性體可以提高力/力矩傳感器的靈敏度.提齣瞭一種適閤MEMS加工的全平麵的力/力矩傳感器彈性體結構.併介紹瞭薄膜電阻應變計構成的微型六維力傳感器和薄膜厚度的測量手段.通過實驗證實,此種薄膜工藝的應用提高瞭力傳感器的測量精度.
제출료재려합금기체상자공천사80Ni20Cr박막전조응변계적가공공예,설명료기공예적실현보취.채용저탄성모량적려합금제작력전감기적탄성체가이제고력/력구전감기적령민도.제출료일충괄합MEMS가공적전평면적력/력구전감기탄성체결구.병개소료박막전조응변계구성적미형륙유력전감기화박막후도적측량수단.통과실험증실,차충박막공예적응용제고료력전감기적측량정도.
