深圳特区科技
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심수특구과기
SHENZHEN SCIENCE MAGAZINE
2005年
z1期
2-7
,共6页
单宝忠%郭宝平%王淑岩%牛憨笨
單寶忠%郭寶平%王淑巖%牛憨笨
단보충%곽보평%왕숙암%우감분
光学设计%激光扫描%F-theta透镜%二维大视场
光學設計%激光掃描%F-theta透鏡%二維大視場
광학설계%격광소묘%F-theta투경%이유대시장
本文设计了大视场二维激光扫描系统.扫描系统以多面体转镜作为扫描器,F-θ透镜作聚焦系统.F-θ透镜不同于普通的光学透镜,通常用于激光扫描系统,将激光束聚焦,利用其线性扫描特性实现线性扫描,系统的扫描特性主要决定于F-θ透镜的聚焦特性.所设计的F-θ透镜系统实现了x方向356mm视场的扫描,分辨率达到35微米,y方向通过滚珠丝杠实现无限长度扫描.用CODE V进行了光学系统性能评价,系统的聚焦特性在整视场达到了衍射极限并满足系统要求.在现有的实验条件下,对光学聚焦系统进行了检测,在不同视场下的聚焦光斑直径都约为30μm,与光学系统理论设计参数基本吻合,而且符合F-θ特性,达到了预期性能.
本文設計瞭大視場二維激光掃描繫統.掃描繫統以多麵體轉鏡作為掃描器,F-θ透鏡作聚焦繫統.F-θ透鏡不同于普通的光學透鏡,通常用于激光掃描繫統,將激光束聚焦,利用其線性掃描特性實現線性掃描,繫統的掃描特性主要決定于F-θ透鏡的聚焦特性.所設計的F-θ透鏡繫統實現瞭x方嚮356mm視場的掃描,分辨率達到35微米,y方嚮通過滾珠絲槓實現無限長度掃描.用CODE V進行瞭光學繫統性能評價,繫統的聚焦特性在整視場達到瞭衍射極限併滿足繫統要求.在現有的實驗條件下,對光學聚焦繫統進行瞭檢測,在不同視場下的聚焦光斑直徑都約為30μm,與光學繫統理論設計參數基本吻閤,而且符閤F-θ特性,達到瞭預期性能.
본문설계료대시장이유격광소묘계통.소묘계통이다면체전경작위소묘기,F-θ투경작취초계통.F-θ투경불동우보통적광학투경,통상용우격광소묘계통,장격광속취초,이용기선성소묘특성실현선성소묘,계통적소묘특성주요결정우F-θ투경적취초특성.소설계적F-θ투경계통실현료x방향356mm시장적소묘,분변솔체도35미미,y방향통과곤주사강실현무한장도소묘.용CODE V진행료광학계통성능평개,계통적취초특성재정시장체도료연사겁한병만족계통요구.재현유적실험조건하,대광학취초계통진행료검측,재불동시장하적취초광반직경도약위30μm,여광학계통이론설계삼수기본문합,이차부합F-θ특성,체도료예기성능.
