人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2006年
1期
127-130,146
,共5页
闫鹏勋%李晓春%李春%崇二敏%刘洋%李鑫%徐建伟
閆鵬勛%李曉春%李春%崇二敏%劉洋%李鑫%徐建偉
염붕훈%리효춘%리춘%숭이민%류양%리흠%서건위
磁过滤等离子体%非晶金刚石膜%周期性偏压%性能
磁過濾等離子體%非晶金剛石膜%週期性偏壓%性能
자과려등리자체%비정금강석막%주기성편압%성능
利用自行研制的磁过滤等离子体技术(FCAP),并创造性地对衬底施加低频率周期性负偏压,在室温下的单晶硅表面上制备了高质量的非晶金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM),红外吸收光谱(IR),纳米硬度计和摩擦试验仪对制备的非晶金刚石薄膜进行了结构和性能表征.实验结果表明:制备的非晶金刚石薄膜表面十分光滑,表面粗糙度仅为0.1nm;薄膜中sp3键成份高达70.7%,对应薄膜硬度达到74.8GPa,接近金刚石的硬度;薄膜摩擦系数在0.12～0.16之间.文中也讨论了偏压类型对沉积薄膜结构的影响.
利用自行研製的磁過濾等離子體技術(FCAP),併創造性地對襯底施加低頻率週期性負偏壓,在室溫下的單晶硅錶麵上製備瞭高質量的非晶金剛石薄膜.用掃描電子顯微鏡(SEM),原子力顯微鏡(AFM),紅外吸收光譜(IR),納米硬度計和摩抆試驗儀對製備的非晶金剛石薄膜進行瞭結構和性能錶徵.實驗結果錶明:製備的非晶金剛石薄膜錶麵十分光滑,錶麵粗糙度僅為0.1nm;薄膜中sp3鍵成份高達70.7%,對應薄膜硬度達到74.8GPa,接近金剛石的硬度;薄膜摩抆繫數在0.12～0.16之間.文中也討論瞭偏壓類型對沉積薄膜結構的影響.
이용자행연제적자과려등리자체기술(FCAP),병창조성지대츤저시가저빈솔주기성부편압,재실온하적단정규표면상제비료고질량적비정금강석박막.용소묘전자현미경(SEM),원자력현미경(AFM),홍외흡수광보(IR),납미경도계화마찰시험의대제비적비정금강석박막진행료결구화성능표정.실험결과표명:제비적비정금강석박막표면십분광활,표면조조도부위0.1nm;박막중sp3건성빈고체70.7%,대응박막경도체도74.8GPa,접근금강석적경도;박막마찰계수재0.12～0.16지간.문중야토론료편압류형대침적박막결구적영향.
