物理学报
物理學報
물이학보
2004年
6期
1961-1966
,共6页
劳技军%孔明%张惠娟%李戈扬
勞技軍%孔明%張惠娟%李戈颺
로기군%공명%장혜연%리과양
立方碳化硅%TiN/SiC纳米多层膜%外延生长%超硬效应
立方碳化硅%TiN/SiC納米多層膜%外延生長%超硬效應
립방탄화규%TiN/SiC납미다층막%외연생장%초경효응
研究了TiN/SiC纳米多层膜中立方SiC(Bl-cubic SiC)的形成及其对TiN/SiC多层膜力学性能的影响.结果表明:在TiN/SiC多层膜中,非晶态的SiC层在厚度小于0.6nm时形成立方结构并与TiN形成共格外延生长的超晶格柱状晶,使多层膜产生硬度和弹性模量显著升高的超硬效应,最高硬度超过60GPa.SiC随着层厚的增加转变为非晶相,从而阻止了多层膜的共格外延生长,使薄膜呈现TiN纳米晶和SiC非晶组成的层状结构特征,同时多层膜的硬度和弹性模量下降.TiN/SiC纳米多层膜产生的超硬效应与立方SiC的形成及多层膜共格生长有关.
研究瞭TiN/SiC納米多層膜中立方SiC(Bl-cubic SiC)的形成及其對TiN/SiC多層膜力學性能的影響.結果錶明:在TiN/SiC多層膜中,非晶態的SiC層在厚度小于0.6nm時形成立方結構併與TiN形成共格外延生長的超晶格柱狀晶,使多層膜產生硬度和彈性模量顯著升高的超硬效應,最高硬度超過60GPa.SiC隨著層厚的增加轉變為非晶相,從而阻止瞭多層膜的共格外延生長,使薄膜呈現TiN納米晶和SiC非晶組成的層狀結構特徵,同時多層膜的硬度和彈性模量下降.TiN/SiC納米多層膜產生的超硬效應與立方SiC的形成及多層膜共格生長有關.
연구료TiN/SiC납미다층막중립방SiC(Bl-cubic SiC)적형성급기대TiN/SiC다층막역학성능적영향.결과표명:재TiN/SiC다층막중,비정태적SiC층재후도소우0.6nm시형성립방결구병여TiN형성공격외연생장적초정격주상정,사다층막산생경도화탄성모량현저승고적초경효응,최고경도초과60GPa.SiC수착층후적증가전변위비정상,종이조지료다층막적공격외연생장,사박막정현TiN납미정화SiC비정조성적층상결구특정,동시다층막적경도화탄성모량하강.TiN/SiC납미다층막산생적초경효응여립방SiC적형성급다층막공격생장유관.
