空气和氧气气氛下p-GaN/Ni/Au合金性质
공기화양기기분하p-GaN/Ni/Au합금성질
Characteristics of Ni/Au Contact to p-GaN Annealed in Air and Oxygen Ambient
  • 万方数据
    发光学报 발광학보
    CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
    2004年 6期 691-695 ,共5页

    杨华%秦志新%陈志忠%胡成余%胡晓东%于彤军%杨志坚%张国义

    양화%진지신%진지충%호성여%호효동%우동군%양지견%장국의

    氮化镓%欧姆接触%同步辐射X射线衍射 氮化鎵%歐姆接觸%同步輻射X射線衍射
    담화가%구모접촉%동보복사X사선연사
    研究了p-GaN上的Au/Ni双金属层在空气气氛和氧气气氛下合金对其欧姆接触性质的影响.使用同步辐射高强度X射线衍射观察到明显的NiO衍射峰.随着合金时间的增加,NiO和Au的结晶性均明显变好,NiO的衍射峰强度随合金时间的增加而增强,同时发现Au(111)沿GaN的(0001)面择优形成单晶.测得Ni/Au-p-GaN-Ni/Au串联电阻在合金后明显降低,表明接触性质改善与结晶性的提高有关.同时发现氧气下合金比空气下合金形成NiO更快,相应的串联电阻也更快地下降.
    연구료p-GaN상적Au/Ni쌍금속층재공기기분화양기기분하합금대기구모접촉성질적영향.사용동보복사고강도X사선연사관찰도명현적NiO연사봉.수착합금시간적증가,NiO화Au적결정성균명현변호,NiO적연사봉강도수합금시간적증가이증강,동시발현Au(111)연GaN적(0001)면택우형성단정.측득Ni/Au-p-GaN-Ni/Au천련전조재합금후명현강저,표명접촉성질개선여결정성적제고유관.동시발현양기하합금비공기하합금형성NiO경쾌,상응적천련전조야경쾌지하강.
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