河北工业大学学报
河北工業大學學報
하북공업대학학보
JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2003年
5期
104-109
,共6页
微机电系统%发展史%微制造技术%微执行器%微传感器
微機電繫統%髮展史%微製造技術%微執行器%微傳感器
미궤전계통%발전사%미제조기술%미집행기%미전감기
概述了微机电系统(MEMS)的发展史,综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术,微封装和测试等关键技术的研究现状.从微构件、微传感器、微执行器和专用MEMS集成系统等4方面的典型器件和典型系统,介绍了微机电系统在当今社会各个领域的广泛应用.
概述瞭微機電繫統(MEMS)的髮展史,綜述瞭微機電繫統(MEMS)領域所涉及的微材料、微機械設計和模擬、微細加工技術,微封裝和測試等關鍵技術的研究現狀.從微構件、微傳感器、微執行器和專用MEMS集成繫統等4方麵的典型器件和典型繫統,介紹瞭微機電繫統在噹今社會各箇領域的廣汎應用.
개술료미궤전계통(MEMS)적발전사,종술료미궤전계통(MEMS)영역소섭급적미재료、미궤계설계화모의、미세가공기술,미봉장화측시등관건기술적연구현상.종미구건、미전감기、미집행기화전용MEMS집성계통등4방면적전형기건화전형계통,개소료미궤전계통재당금사회각개영역적엄범응용.
