稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2003年
3期
357-360
,共4页
李春龙%沈益军%杨德仁%马向阳%余学功%阙端麟
李春龍%瀋益軍%楊德仁%馬嚮暘%餘學功%闕耑麟
리춘룡%침익군%양덕인%마향양%여학공%궐단린
直拉硅%重掺硼%氧%缩颈
直拉硅%重摻硼%氧%縮頸
직랍규%중참붕%양%축경
系统介绍了直拉重掺硼(B)硅单晶研究的最新进展.主要内容包括重掺B硅单晶的基本性质,利用重掺B籽晶进行无缩颈硅单晶生长技术,重掺B硅单晶的机械性能,重掺B硅单晶中的氧和氧沉淀,以及B的大量掺杂与大直径直拉硅单晶中空洞型(Void)原生缺陷的控制关系.在此基础上,探讨了当前直拉重掺B硅单晶生产和研究中存在的主要问题.
繫統介紹瞭直拉重摻硼(B)硅單晶研究的最新進展.主要內容包括重摻B硅單晶的基本性質,利用重摻B籽晶進行無縮頸硅單晶生長技術,重摻B硅單晶的機械性能,重摻B硅單晶中的氧和氧沉澱,以及B的大量摻雜與大直徑直拉硅單晶中空洞型(Void)原生缺陷的控製關繫.在此基礎上,探討瞭噹前直拉重摻B硅單晶生產和研究中存在的主要問題.
계통개소료직랍중참붕(B)규단정연구적최신진전.주요내용포괄중참B규단정적기본성질,이용중참B자정진행무축경규단정생장기술,중참B규단정적궤계성능,중참B규단정중적양화양침정,이급B적대량참잡여대직경직랍규단정중공동형(Void)원생결함적공제관계.재차기출상,탐토료당전직랍중참B규단정생산화연구중존재적주요문제.
