太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2001年
4期
398-402
,共5页
王莉蓉%杨德仁%应啸%李先杭
王莉蓉%楊德仁%應嘯%李先杭
왕리용%양덕인%응소%리선항
太阳电池%氧沉淀%退火%硅
太暘電池%氧沉澱%退火%硅
태양전지%양침정%퇴화%규
主要通过单步退火与二步退火的方法,借助于红外光谱仪、扫描电镜等研究了太阳电池用直拉硅单晶中氧沉淀性质,发现太阳电池用直拉硅单晶氧沉淀的过程不同于微电子用直拉硅单晶,尽管碳浓度很高,经过单步退火处理没有氧沉淀生成. 这被认为由于晶体生长速度快等原因,太阳能用硅单晶的原生氧沉淀很少,氧沉淀缺乏原始核心的缘故.而经过750℃预退火,生成氧沉淀核心,太阳能用硅单晶中也有大量的氧沉淀产生.研究表明,如果太阳电池工艺中硅片仅经800～1100℃的单步热处理,太阳能用直拉硅单晶中的氧可能对太阳电池的效率没有影响.
主要通過單步退火與二步退火的方法,藉助于紅外光譜儀、掃描電鏡等研究瞭太暘電池用直拉硅單晶中氧沉澱性質,髮現太暘電池用直拉硅單晶氧沉澱的過程不同于微電子用直拉硅單晶,儘管碳濃度很高,經過單步退火處理沒有氧沉澱生成. 這被認為由于晶體生長速度快等原因,太暘能用硅單晶的原生氧沉澱很少,氧沉澱缺乏原始覈心的緣故.而經過750℃預退火,生成氧沉澱覈心,太暘能用硅單晶中也有大量的氧沉澱產生.研究錶明,如果太暘電池工藝中硅片僅經800～1100℃的單步熱處理,太暘能用直拉硅單晶中的氧可能對太暘電池的效率沒有影響.
주요통과단보퇴화여이보퇴화적방법,차조우홍외광보의、소묘전경등연구료태양전지용직랍규단정중양침정성질,발현태양전지용직랍규단정양침정적과정불동우미전자용직랍규단정,진관탄농도흔고,경과단보퇴화처리몰유양침정생성. 저피인위유우정체생장속도쾌등원인,태양능용규단정적원생양침정흔소,양침정결핍원시핵심적연고.이경과750℃예퇴화,생성양침정핵심,태양능용규단정중야유대량적양침정산생.연구표명,여과태양전지공예중규편부경800～1100℃적단보열처리,태양능용직랍규단정중적양가능대태양전지적효솔몰유영향.
