真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2001年
1期
15-17,20
,共4页
MWPCVD装置%稳定运行%金刚石膜
MWPCVD裝置%穩定運行%金剛石膜
MWPCVD장치%은정운행%금강석막
微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)是制备金刚石膜的一种重要方法.为了获得金刚石膜的高速率大面积沉积,研制成功了水冷反应室式MWPCVD制备金刚石膜的装置.装置在微波输入功率为3.0 kW时能长时间稳定运行,并在硅衬底上沉积出金刚石膜.
微波等離子體化學氣相沉積(MWPCVD)是製備金剛石膜的一種重要方法.為瞭穫得金剛石膜的高速率大麵積沉積,研製成功瞭水冷反應室式MWPCVD製備金剛石膜的裝置.裝置在微波輸入功率為3.0 kW時能長時間穩定運行,併在硅襯底上沉積齣金剛石膜.
미파등리자체화학기상침적(MWPCVD)시제비금강석막적일충중요방법.위료획득금강석막적고속솔대면적침적,연제성공료수랭반응실식MWPCVD제비금강석막적장치.장치재미파수입공솔위3.0 kW시능장시간은정운행,병재규츤저상침적출금강석막.
