微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2000年
2期
66-69,61
,共5页
陈迪%李昌敏%章吉良%伊福廷%周狄%郭晓芸
陳迪%李昌敏%章吉良%伊福廷%週狄%郭曉蕓
진적%리창민%장길량%이복정%주적%곽효예
LIGA技术%X光深层光刻
LIGA技術%X光深層光刻
LIGA기술%X광심층광각
通过在北京高能所3W1束线上进行的X光深层光刻工艺研究,获得了侧壁光滑、陡直,厚度达100μm,深宽比达20的光刻胶和金属微结构,表明该光束线适用于LIGA技术的研究.
通過在北京高能所3W1束線上進行的X光深層光刻工藝研究,穫得瞭側壁光滑、陡直,厚度達100μm,深寬比達20的光刻膠和金屬微結構,錶明該光束線適用于LIGA技術的研究.
통과재북경고능소3W1속선상진행적X광심층광각공예연구,획득료측벽광활、두직,후도체100μm,심관비체20적광각효화금속미결구,표명해광속선괄용우LIGA기술적연구.
