集成微光机电系统研究现况及其产业化前景
집성미광궤전계통연구현황급기산업화전경
RESEARCH AND INDUSTRIALIZATION OF INTEGRATED MICRO OPTO MECHATRONICS SYSTEMS, THE PRESENT AND FUTURE
  • 万方数据
    功能材料与器件学报 공능재료여기건학보
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
    2000年 1期 1-6 ,共6页

    王跃林%王渭源

    왕약림%왕위원

    集成微光机电系统%微电子机械系统%微系统 集成微光機電繫統%微電子機械繫統%微繫統
    집성미광궤전계통%미전자궤계계통%미계통
    本文介绍了国际集成微光机电系统的研究现况及其产业化前景;在此基础上,提出了对我国加快这一领域的研究和产业化的看法.
    본문개소료국제집성미광궤전계통적연구현황급기산업화전경;재차기출상,제출료대아국가쾌저일영역적연구화산업화적간법.
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