红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
1999年
2期
37-39
,共3页
半导体激光器%干涉仪%微振动传感器
半導體激光器%榦涉儀%微振動傳感器
반도체격광기%간섭의%미진동전감기
文中介绍一种用半导体激光器构建小型迈克尔逊干涉仪实现对微振动量精确测量的方法,实验证明,这种方法完全可以实现.用这种方法构建的微振动传感器体积小、质量轻、价格便宜并具有很高的灵敏度和准确度.
文中介紹一種用半導體激光器構建小型邁剋爾遜榦涉儀實現對微振動量精確測量的方法,實驗證明,這種方法完全可以實現.用這種方法構建的微振動傳感器體積小、質量輕、價格便宜併具有很高的靈敏度和準確度.
문중개소일충용반도체격광기구건소형매극이손간섭의실현대미진동량정학측량적방법,실험증명,저충방법완전가이실현.용저충방법구건적미진동전감기체적소、질량경、개격편의병구유흔고적령민도화준학도.
