河北省科学院学报
河北省科學院學報
하북성과학원학보
JOURNAL OF THE HEBEI ACADEMY OF SCIENCES
1999年
3期
61-64
,共4页
王少岩%吴晓波%王志娜%刘秀军%刁习刚%姜龙
王少巖%吳曉波%王誌娜%劉秀軍%刁習剛%薑龍
왕소암%오효파%왕지나%류수군%조습강%강룡
化学气相沉积%金刚石膜%直流等离子体喷射
化學氣相沉積%金剛石膜%直流等離子體噴射
화학기상침적%금강석막%직류등리자체분사
介绍了化学气相沉积金刚石薄膜的主要制备方法:热灯丝法、微波法、等离子体喷射法、火焰燃烧法.CVD金刚石膜的应用.
介紹瞭化學氣相沉積金剛石薄膜的主要製備方法:熱燈絲法、微波法、等離子體噴射法、火燄燃燒法.CVD金剛石膜的應用.
개소료화학기상침적금강석박막적주요제비방법:열등사법、미파법、등리자체분사법、화염연소법.CVD금강석막적응용.
