微电子技术
微電子技術
미전자기술
MICRO ELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
2期
1-3,24
,共4页
易立华%曾云%宴敏
易立華%曾雲%宴敏
역립화%증운%연민
硅技术%极限%突破
硅技術%極限%突破
규기술%겁한%돌파
介绍了硅技术的发展及现状;主要分析了硅技术发展中遇到的极限挑战及可能突破的方法,预测了21世纪硅技术发展方向.
介紹瞭硅技術的髮展及現狀;主要分析瞭硅技術髮展中遇到的極限挑戰及可能突破的方法,預測瞭21世紀硅技術髮展方嚮.
개소료규기술적발전급현상;주요분석료규기술발전중우도적겁한도전급가능돌파적방법,예측료21세기규기술발전방향.
