固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2003年
1期
120-125
,共6页
李清华%刘键%罗俊一%李晴%郑国祥
李清華%劉鍵%囉俊一%李晴%鄭國祥
리청화%류건%라준일%리청%정국상
表面光电压%金属沾污%在线监控
錶麵光電壓%金屬霑汙%在線鑑控
표면광전압%금속첨오%재선감공
表面光电压法(SPV)是一种高灵敏度的、非破坏性的在线监控技术.能精确测量硅片的少子扩散长度、少子寿命、重金属沾污浓度等参数.对IC生产的质量保证是非常重要的检测手段.文中介绍了用于监控IC生产栅氧化层和氧化炉管系统的SPV技术,并讨论了铁以外其它沾污的SPV检测.
錶麵光電壓法(SPV)是一種高靈敏度的、非破壞性的在線鑑控技術.能精確測量硅片的少子擴散長度、少子壽命、重金屬霑汙濃度等參數.對IC生產的質量保證是非常重要的檢測手段.文中介紹瞭用于鑑控IC生產柵氧化層和氧化爐管繫統的SPV技術,併討論瞭鐵以外其它霑汙的SPV檢測.
표면광전압법(SPV)시일충고령민도적、비파배성적재선감공기술.능정학측량규편적소자확산장도、소자수명、중금속첨오농도등삼수.대IC생산적질량보증시비상중요적검측수단.문중개소료용우감공IC생산책양화층화양화로관계통적SPV기술,병토론료철이외기타첨오적SPV검측.
