掺氮类金刚石薄膜的导电性能及退火特性
참담류금강석박막적도전성능급퇴화특성
ELECTRICAL CONDUCTION PROPERTIES AND ANNEALING EFFECT OF NITRIDE DLC FILMS
  • 万方数据
    红外与毫米波学报 홍외여호미파학보
    JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
    2002年 z1期 97-100 ,共4页

    张伟丽%居建华%夏义本%范轶明%王林军%黄志明%郑国珍%汤定元

    장위려%거건화%하의본%범질명%왕림군%황지명%정국진%탕정원

    掺氮类金刚石薄膜%导电性能%微观结构 摻氮類金剛石薄膜%導電性能%微觀結構
    참담류금강석박막%도전성능%미관결구
    对含氮的类金刚石薄膜的导电性能进行了研究,发现随着氮含量的增加,沉积薄膜的电导率增加较缓,且当氮含量达到一定值后,氮含量继续增加反而薄膜电导率有所下降.对薄膜进一步热处理,结果表明低掺氮的薄膜退火后导电性能有了较大的提高,而高掺氮的薄膜退火后电导率有所下降.文章通过分析退火前后薄膜的红外光谱,提出了充当施主杂质中心氮原子"激活"的慨念和高掺杂后薄膜中氮原子形成a-CNx结构.从而从微观结构解释了掺氮对类金刚石薄膜导电性电能的影响.
    대함담적류금강석박막적도전성능진행료연구,발현수착담함량적증가,침적박막적전도솔증가교완,차당담함량체도일정치후,담함량계속증가반이박막전도솔유소하강.대박막진일보열처리,결과표명저참담적박막퇴화후도전성능유료교대적제고,이고참담적박막퇴화후전도솔유소하강.문장통과분석퇴화전후박막적홍외광보,제출료충당시주잡질중심담원자"격활"적개념화고참잡후박막중담원자형성a-CNx결구.종이종미관결구해석료참담대류금강석박막도전성전능적영향.
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