材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
2002年
11期
29-31,47
,共4页
王华%于军%王耘波%倪尔瑚
王華%于軍%王耘波%倪爾瑚
왕화%우군%왕운파%예이호
铁电薄膜%Bi4Ti3O12%微观结构%退火温度
鐵電薄膜%Bi4Ti3O12%微觀結構%退火溫度
철전박막%Bi4Ti3O12%미관결구%퇴화온도
采用Sol-Gel工艺制备了Si基Bi4Ti3O12铁电薄膜.研究了退火温度对Si基Bi4Ti3O12薄膜晶相结构、晶粒尺寸及薄膜表面形貌的影响.研究表明,退火温度低于450℃时Bi4Ti3O12薄膜为非晶状态,退火温度在550～850℃范围时均为多晶薄膜,而且随退火温度升高,Bi4Ti3O12薄膜更趋向于沿c轴取向的生长;而晶粒尺寸及薄膜粗糙度随退火温度升高而增大,但在较高温度下增长速度趋缓.
採用Sol-Gel工藝製備瞭Si基Bi4Ti3O12鐵電薄膜.研究瞭退火溫度對Si基Bi4Ti3O12薄膜晶相結構、晶粒呎吋及薄膜錶麵形貌的影響.研究錶明,退火溫度低于450℃時Bi4Ti3O12薄膜為非晶狀態,退火溫度在550～850℃範圍時均為多晶薄膜,而且隨退火溫度升高,Bi4Ti3O12薄膜更趨嚮于沿c軸取嚮的生長;而晶粒呎吋及薄膜粗糙度隨退火溫度升高而增大,但在較高溫度下增長速度趨緩.
채용Sol-Gel공예제비료Si기Bi4Ti3O12철전박막.연구료퇴화온도대Si기Bi4Ti3O12박막정상결구、정립척촌급박막표면형모적영향.연구표명,퇴화온도저우450℃시Bi4Ti3O12박막위비정상태,퇴화온도재550～850℃범위시균위다정박막,이차수퇴화온도승고,Bi4Ti3O12박막경추향우연c축취향적생장;이정립척촌급박막조조도수퇴화온도승고이증대,단재교고온도하증장속도추완.
