生长温度对ZnO薄膜结构的影响
생장온도대ZnO박막결구적영향
Influence of growth temperature on the structure of ZnO thin film
  • 万方数据
    功能材料与器件学报 공능재료여기건학보
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
    2002年 2期 115-118 ,共4页

    王金忠%王新强%闫玮%殷宗友%马燕%姜秀英%杨树人%高鼎三%杜国同

    왕금충%왕신강%염위%은종우%마연%강수영%양수인%고정삼%두국동

    XRD%SEM%化学计量比%ZnO XRD%SEM%化學計量比%ZnO
    XRD%SEM%화학계량비%ZnO
    在不同温度下,利用射频等离子体增强型MOCVD系统,在蓝宝石C面上生长出了C轴单一取向的ZnO薄膜,并通过XRD、SEM手段对生长温度与样品的生长速度、表面结构和氧锌原子化学计量比的关系作了较为详细的研究,优化了薄膜的温度生长参数.当生长温度为520oC时,ZnO薄膜的生长速度最大且表面粗糙度较低.当温度为550oC时,可生长出O:Zn为49.99:50:01的近本征ZnO薄膜.
    재불동온도하,이용사빈등리자체증강형MOCVD계통,재람보석C면상생장출료C축단일취향적ZnO박막,병통과XRD、SEM수단대생장온도여양품적생장속도、표면결구화양자원자화학계량비적관계작료교위상세적연구,우화료박막적온도생장삼수.당생장온도위520oC시,ZnO박막적생장속도최대차표면조조도교저.당온도위550oC시,가생장출O:Zn위49.99:50:01적근본정ZnO박막.
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