功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2002年
2期
99-102
,共4页
陈静%王湘%董业民%郑志宏%陈猛%王曦
陳靜%王湘%董業民%鄭誌宏%陳猛%王晞
진정%왕상%동업민%정지굉%진맹%왕희
低剂量注水%注入能量%SOI结构
低劑量註水%註入能量%SOI結構
저제량주수%주입능량%SOI결구
采用无质量分析器的离子注入机,以低能量低剂量注水的方式代替常规SIMOX注氧制备SOI材料.测试结果表明,此技术成功地制备了界面陡峭、平整,表层硅单晶质量好的SOI结构材料.在剂量一定的条件下,研究不同注入能量对SOI结构形成的影响,使用剖面透射电镜技术(XTEM)和二次离子质谱技术(SIMS)等测试方法对注入样品和退火后样品进行分析.结果表明,表层硅厚度随注入能量增大不断增大;埋层二氧化硅厚度相对独立,仅在超低能(50keV)低剂量情况下厚度出现明显降低;埋层质量(包括界面平整度、硅岛密度等)与注入能量变化相关.
採用無質量分析器的離子註入機,以低能量低劑量註水的方式代替常規SIMOX註氧製備SOI材料.測試結果錶明,此技術成功地製備瞭界麵陡峭、平整,錶層硅單晶質量好的SOI結構材料.在劑量一定的條件下,研究不同註入能量對SOI結構形成的影響,使用剖麵透射電鏡技術(XTEM)和二次離子質譜技術(SIMS)等測試方法對註入樣品和退火後樣品進行分析.結果錶明,錶層硅厚度隨註入能量增大不斷增大;埋層二氧化硅厚度相對獨立,僅在超低能(50keV)低劑量情況下厚度齣現明顯降低;埋層質量(包括界麵平整度、硅島密度等)與註入能量變化相關.
채용무질량분석기적리자주입궤,이저능량저제량주수적방식대체상규SIMOX주양제비SOI재료.측시결과표명,차기술성공지제비료계면두초、평정,표층규단정질량호적SOI결구재료.재제량일정적조건하,연구불동주입능량대SOI결구형성적영향,사용부면투사전경기술(XTEM)화이차리자질보기술(SIMS)등측시방법대주입양품화퇴화후양품진행분석.결과표명,표층규후도수주입능량증대불단증대;매층이양화규후도상대독립,부재초저능(50keV)저제량정황하후도출현명현강저;매층질량(포괄계면평정도、규도밀도등)여주입능량변화상관.
