真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
1期
1-4
,共4页
李戈扬%虞晓江%吴桢干%许俊华%顾明元
李戈颺%虞曉江%吳楨榦%許俊華%顧明元
리과양%우효강%오정간%허준화%고명원
TaN/NbN纳米多层膜%超硬效应%耐磨性%微结构
TaN/NbN納米多層膜%超硬效應%耐磨性%微結構
TaN/NbN납미다층막%초경효응%내마성%미결구
采用反应溅射在多靶溅射仪上制备了调制周期小于73.2 nm的一系列TaN/NbN纳米多层膜和TaN,NbN单层薄膜,并采用透射电子显微镜、显微硬度计和凹坑研磨仪研究了薄膜的微结构、力学性能和耐磨性.结果表明,具有成分周期变化的TaN/NbN纳米多层膜在其调制周期为2.3～17.0 nm范围内产生硬度异常升高的超硬效应,最高硬度达到HK 51.0 GPa;磨损实验表明,TaN/NbN纳米多层膜耐磨性远高于TaN和NbN单层膜,其主要原因是调制结构中大量界面的存在,提高了薄膜的韧性.
採用反應濺射在多靶濺射儀上製備瞭調製週期小于73.2 nm的一繫列TaN/NbN納米多層膜和TaN,NbN單層薄膜,併採用透射電子顯微鏡、顯微硬度計和凹坑研磨儀研究瞭薄膜的微結構、力學性能和耐磨性.結果錶明,具有成分週期變化的TaN/NbN納米多層膜在其調製週期為2.3～17.0 nm範圍內產生硬度異常升高的超硬效應,最高硬度達到HK 51.0 GPa;磨損實驗錶明,TaN/NbN納米多層膜耐磨性遠高于TaN和NbN單層膜,其主要原因是調製結構中大量界麵的存在,提高瞭薄膜的韌性.
채용반응천사재다파천사의상제비료조제주기소우73.2 nm적일계렬TaN/NbN납미다층막화TaN,NbN단층박막,병채용투사전자현미경、현미경도계화요갱연마의연구료박막적미결구、역학성능화내마성.결과표명,구유성분주기변화적TaN/NbN납미다층막재기조제주기위2.3～17.0 nm범위내산생경도이상승고적초경효응,최고경도체도HK 51.0 GPa;마손실험표명,TaN/NbN납미다층막내마성원고우TaN화NbN단층막,기주요원인시조제결구중대량계면적존재,제고료박막적인성.
