物理学报
物理學報
물이학보
2001年
12期
2382-2386
,共5页
孙家林%田广彦%李勤%赵钧%郭继华%谢爱芳%张泽渤
孫傢林%田廣彥%李勤%趙鈞%郭繼華%謝愛芳%張澤渤
손가림%전엄언%리근%조균%곽계화%사애방%장택발
动态化学腐蚀法%大锥角%近场光纤探针
動態化學腐蝕法%大錐角%近場光纖探針
동태화학부식법%대추각%근장광섬탐침
基于液压传递原理,设计出一种用动态化学腐蚀法制备大锥角近场光纤探针的装置.实验结果表明,在传统的化学腐蚀法制备光纤探针的过程中,通过控制腐蚀液液面的上升速度,可以有效地控制探针针尖的形状以及锥角的大小.在此基础上,还论述了分步控制光纤与腐蚀液液面的相对位移的方法在大锥角光纤探针的制备中所具有的独特优越性.利用所制备的大锥角近场光纤探针在扫描近场光学显微镜上对直径为200nm的小球进行探测,其力学像证实该探针具有较高的形貌分辨率(约为50nm).
基于液壓傳遞原理,設計齣一種用動態化學腐蝕法製備大錐角近場光纖探針的裝置.實驗結果錶明,在傳統的化學腐蝕法製備光纖探針的過程中,通過控製腐蝕液液麵的上升速度,可以有效地控製探針針尖的形狀以及錐角的大小.在此基礎上,還論述瞭分步控製光纖與腐蝕液液麵的相對位移的方法在大錐角光纖探針的製備中所具有的獨特優越性.利用所製備的大錐角近場光纖探針在掃描近場光學顯微鏡上對直徑為200nm的小毬進行探測,其力學像證實該探針具有較高的形貌分辨率(約為50nm).
기우액압전체원리,설계출일충용동태화학부식법제비대추각근장광섬탐침적장치.실험결과표명,재전통적화학부식법제비광섬탐침적과정중,통과공제부식액액면적상승속도,가이유효지공제탐침침첨적형상이급추각적대소.재차기출상,환논술료분보공제광섬여부식액액면적상대위이적방법재대추각광섬탐침적제비중소구유적독특우월성.이용소제비적대추각근장광섬탐침재소묘근장광학현미경상대직경위200nm적소구진행탐측,기역학상증실해탐침구유교고적형모분변솔(약위50nm).
