物理学报
物理學報
물이학보
2001年
7期
1390-1395
,共6页
赵坤%朱凤%王莉芳%孟铁军%张保澄%赵夔
趙坤%硃鳳%王莉芳%孟鐵軍%張保澄%趙夔
조곤%주봉%왕리방%맹철군%장보징%조기
反应溅射%TiO2薄膜
反應濺射%TiO2薄膜
반응천사%TiO2박막
报道了用反应溅射法制备TiO2薄膜的实验研究.详细研究了氧分压、基底温度和退火温度对成膜结构的影响.制备出了具有金红石和锐钛矿晶体结构的TiO2薄膜.分析了金红石和锐钛矿晶体的形成条件,并对薄膜的表面形貌进行了测量.
報道瞭用反應濺射法製備TiO2薄膜的實驗研究.詳細研究瞭氧分壓、基底溫度和退火溫度對成膜結構的影響.製備齣瞭具有金紅石和銳鈦礦晶體結構的TiO2薄膜.分析瞭金紅石和銳鈦礦晶體的形成條件,併對薄膜的錶麵形貌進行瞭測量.
보도료용반응천사법제비TiO2박막적실험연구.상세연구료양분압、기저온도화퇴화온도대성막결구적영향.제비출료구유금홍석화예태광정체결구적TiO2박막.분석료금홍석화예태광정체적형성조건,병대박막적표면형모진행료측량.
