光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2003年
5期
425-431
,共7页
微机械%惯性传感器%加速度计%陀螺
微機械%慣性傳感器%加速度計%陀螺
미궤계%관성전감기%가속도계%타라
对微机械惯性传感器-微加速度计和微陀螺的技术现状进行了评述.根据其不同的技术实现,诸如制造过程、工作原理、控制系统、接口技术等对其进行了分类描述.这些微传感器的用途很广,而且相对于其传统器件来说有低成本、小尺寸、低功耗等特点,正在全世界范围内被广泛研究.最后,对微机械传感器领域的一些新的进展进行了讨论,并提出了展望.
對微機械慣性傳感器-微加速度計和微陀螺的技術現狀進行瞭評述.根據其不同的技術實現,諸如製造過程、工作原理、控製繫統、接口技術等對其進行瞭分類描述.這些微傳感器的用途很廣,而且相對于其傳統器件來說有低成本、小呎吋、低功耗等特點,正在全世界範圍內被廣汎研究.最後,對微機械傳感器領域的一些新的進展進行瞭討論,併提齣瞭展望.
대미궤계관성전감기-미가속도계화미타라적기술현상진행료평술.근거기불동적기술실현,제여제조과정、공작원리、공제계통、접구기술등대기진행료분류묘술.저사미전감기적용도흔엄,이차상대우기전통기건래설유저성본、소척촌、저공모등특점,정재전세계범위내피엄범연구.최후,대미궤계전감기영역적일사신적진전진행료토론,병제출료전망.
