传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2007年
5期
1158-1161
,共4页
黄大刚%王宝光%朱连津%徐宁
黃大剛%王寶光%硃連津%徐寧
황대강%왕보광%주련진%서저
非球面测量%光镊%聚苯乙烯小球%牛顿环%二维标尺
非毬麵測量%光鑷%聚苯乙烯小毬%牛頓環%二維標呎
비구면측량%광섭%취분을희소구%우돈배%이유표척
提出一种基于光镊技术测量非球面面形的新方法.用光镊将直径为微米级的高分子小球移动到被测表面上,小球折射产生的球面波与平面波干涉,形成牛顿环.在相互垂直的二维标尺上分别测量两组牛顿环中心位置,得到小球的三维坐标.光镊对小球只产生亚皮牛量级的作用力,小球对被测表面的弹性变形可以忽略.通过测量若干小球坐标后,可拟合出三维曲面.
提齣一種基于光鑷技術測量非毬麵麵形的新方法.用光鑷將直徑為微米級的高分子小毬移動到被測錶麵上,小毬摺射產生的毬麵波與平麵波榦涉,形成牛頓環.在相互垂直的二維標呎上分彆測量兩組牛頓環中心位置,得到小毬的三維坐標.光鑷對小毬隻產生亞皮牛量級的作用力,小毬對被測錶麵的彈性變形可以忽略.通過測量若榦小毬坐標後,可擬閤齣三維麯麵.
제출일충기우광섭기술측량비구면면형적신방법.용광섭장직경위미미급적고분자소구이동도피측표면상,소구절사산생적구면파여평면파간섭,형성우돈배.재상호수직적이유표척상분별측량량조우돈배중심위치,득도소구적삼유좌표.광섭대소구지산생아피우량급적작용력,소구대피측표면적탄성변형가이홀략.통과측량약간소구좌표후,가의합출삼유곡면.
