半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2010年
6期
555-559
,共5页
冯军宏%简维廷%张荣哲%刘云海%董伟淳
馮軍宏%簡維廷%張榮哲%劉雲海%董偉淳
풍군굉%간유정%장영철%류운해%동위순
宇宙射线%中子%软失效%单粒子翻转
宇宙射線%中子%軟失效%單粒子翻轉
우주사선%중자%연실효%단입자번전
辐射引起的软失效一直是影响半导体可靠性的一个重大问题.特别是宇宙射线引起的在地球表面的高能中子,由于其特有的高穿透性很难有效屏蔽防护.介绍了其造成半导体器件软失效的失效机理,并利用加速软失效测试模型分别对90,65和45nm工艺的随机静态存储器的软失效率进行了分析,研究了该类中子造成的软失效率的影响因素及相关规律.据此预测了更高工艺技术产品的中子软失效率,在为芯片设计和制造阶段就对中子辐射可靠性的防护提供了一定的参考和依据.
輻射引起的軟失效一直是影響半導體可靠性的一箇重大問題.特彆是宇宙射線引起的在地毬錶麵的高能中子,由于其特有的高穿透性很難有效屏蔽防護.介紹瞭其造成半導體器件軟失效的失效機理,併利用加速軟失效測試模型分彆對90,65和45nm工藝的隨機靜態存儲器的軟失效率進行瞭分析,研究瞭該類中子造成的軟失效率的影響因素及相關規律.據此預測瞭更高工藝技術產品的中子軟失效率,在為芯片設計和製造階段就對中子輻射可靠性的防護提供瞭一定的參攷和依據.
복사인기적연실효일직시영향반도체가고성적일개중대문제.특별시우주사선인기적재지구표면적고능중자,유우기특유적고천투성흔난유효병폐방호.개소료기조성반도체기건연실효적실효궤리,병이용가속연실효측시모형분별대90,65화45nm공예적수궤정태존저기적연실효솔진행료분석,연구료해류중자조성적연실효솔적영향인소급상관규률.거차예측료경고공예기술산품적중자연실효솔,재위심편설계화제조계단취대중자복사가고성적방호제공료일정적삼고화의거.
