压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2010年
5期
856-858,862
,共4页
蔡南科%蒋洪奎%朱自强%虞献文
蔡南科%蔣洪奎%硃自彊%虞獻文
채남과%장홍규%주자강%우헌문
多孔硅%阳极氧化法%场电子发射
多孔硅%暘極氧化法%場電子髮射
다공규%양겁양화법%장전자발사
采用阳极氧化及阴极还原表面处理技术制备性能稳定的纳米多孔硅薄膜.用原子力显微镜(AFM)表征多孔硅的表面形貌,用扫描电子显微镜(SEM)表征多孔硅的横截面结构.采用场发射测试装置研究了阳极氧化腐蚀时间及等离子表面处理对多孔硅场发射性能影响.结果表明,阳极氧化腐蚀时间越长,所得多孔硅场发射性能越好,相对应的开启电压越低,电流密度越大;等离子处理可有效提高场发射性能,等离子处理后的多孔硅薄膜作为阴极发射材料具有极大的潜能.
採用暘極氧化及陰極還原錶麵處理技術製備性能穩定的納米多孔硅薄膜.用原子力顯微鏡(AFM)錶徵多孔硅的錶麵形貌,用掃描電子顯微鏡(SEM)錶徵多孔硅的橫截麵結構.採用場髮射測試裝置研究瞭暘極氧化腐蝕時間及等離子錶麵處理對多孔硅場髮射性能影響.結果錶明,暘極氧化腐蝕時間越長,所得多孔硅場髮射性能越好,相對應的開啟電壓越低,電流密度越大;等離子處理可有效提高場髮射性能,等離子處理後的多孔硅薄膜作為陰極髮射材料具有極大的潛能.
채용양겁양화급음겁환원표면처리기술제비성능은정적납미다공규박막.용원자력현미경(AFM)표정다공규적표면형모,용소묘전자현미경(SEM)표정다공규적횡절면결구.채용장발사측시장치연구료양겁양화부식시간급등리자표면처리대다공규장발사성능영향.결과표명,양겁양화부식시간월장,소득다공규장발사성능월호,상대응적개계전압월저,전류밀도월대;등리자처리가유효제고장발사성능,등리자처리후적다공규박막작위음겁발사재료구유겁대적잠능.
