传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2012年
2期
184-187
,共4页
MEMS%微喷口阵列%各向异性刻蚀%TMAH%过硫酸铵%粗糙度
MEMS%微噴口陣列%各嚮異性刻蝕%TMAH%過硫痠銨%粗糙度
MEMS%미분구진렬%각향이성각식%TMAH%과류산안%조조도
为了高效经济地实现单晶硅喷口阵列的批量加工,通过大量实验,研究了TMAH溶液在不同浓度、温度、刻蚀时间以及添加剂过硫酸铵的添加量和添加方式等对单晶硅刻蚀结果的影响规律,得到了“两步法”的优化刻蚀工艺:第1步在低浓度、高温度下进行高速刻蚀；第2步降低刻蚀温度,同时添加过硫酸铵,进行表面修饰,降低粗糙度.该工艺具有操作简便、经济高效的特点,结合该工艺已成功制备出高质量的固体化学微推进器喷口阵列.
為瞭高效經濟地實現單晶硅噴口陣列的批量加工,通過大量實驗,研究瞭TMAH溶液在不同濃度、溫度、刻蝕時間以及添加劑過硫痠銨的添加量和添加方式等對單晶硅刻蝕結果的影響規律,得到瞭“兩步法”的優化刻蝕工藝:第1步在低濃度、高溫度下進行高速刻蝕；第2步降低刻蝕溫度,同時添加過硫痠銨,進行錶麵脩飾,降低粗糙度.該工藝具有操作簡便、經濟高效的特點,結閤該工藝已成功製備齣高質量的固體化學微推進器噴口陣列.
위료고효경제지실현단정규분구진렬적비량가공,통과대량실험,연구료TMAH용액재불동농도、온도、각식시간이급첨가제과류산안적첨가량화첨가방식등대단정규각식결과적영향규률,득도료“량보법”적우화각식공예:제1보재저농도、고온도하진행고속각식；제2보강저각식온도,동시첨가과류산안,진행표면수식,강저조조도.해공예구유조작간편、경제고효적특점,결합해공예이성공제비출고질량적고체화학미추진기분구진렬.
