发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2002年
3期
291-295
,共5页
元美玲%刘南生%王水凤%曾宇昕%汪庆年
元美玲%劉南生%王水鳳%曾宇昕%汪慶年
원미령%류남생%왕수봉%증우흔%왕경년
稀土掺杂%离子注入%可见光致发光%SiO2薄膜%表面形貌
稀土摻雜%離子註入%可見光緻髮光%SiO2薄膜%錶麵形貌
희토참잡%리자주입%가견광치발광%SiO2박막%표면형모
测量了Nd,Ce稀土离子注入Si基晶片,在不同离子注入剂量、不同退火条件下的室温光致发光(PL)谱,结果表明它们均具有蓝、紫发光峰,且发光稳定.在一定范围内发光效率随掺杂浓度的增加而增大,随退火条件的不同而改变.运用原子力显微镜(AFM)对样品的表面形貌进行了观察,结果显示,样品表面颗粒大小、粗糙度将影响其发光效率.表面颗粒大小均匀,均方根粗糙度小的样品发光效率较高.通过对样品的卢瑟福背散射(RBS)能谱测量,对样品的表面结构进行了探讨,并讨论了表面结构与光致发光特性之间的联系.对样品的发光机理作了初步探讨.
測量瞭Nd,Ce稀土離子註入Si基晶片,在不同離子註入劑量、不同退火條件下的室溫光緻髮光(PL)譜,結果錶明它們均具有藍、紫髮光峰,且髮光穩定.在一定範圍內髮光效率隨摻雜濃度的增加而增大,隨退火條件的不同而改變.運用原子力顯微鏡(AFM)對樣品的錶麵形貌進行瞭觀察,結果顯示,樣品錶麵顆粒大小、粗糙度將影響其髮光效率.錶麵顆粒大小均勻,均方根粗糙度小的樣品髮光效率較高.通過對樣品的盧瑟福揹散射(RBS)能譜測量,對樣品的錶麵結構進行瞭探討,併討論瞭錶麵結構與光緻髮光特性之間的聯繫.對樣品的髮光機理作瞭初步探討.
측량료Nd,Ce희토리자주입Si기정편,재불동리자주입제량、불동퇴화조건하적실온광치발광(PL)보,결과표명타문균구유람、자발광봉,차발광은정.재일정범위내발광효솔수참잡농도적증가이증대,수퇴화조건적불동이개변.운용원자력현미경(AFM)대양품적표면형모진행료관찰,결과현시,양품표면과립대소、조조도장영향기발광효솔.표면과립대소균균,균방근조조도소적양품발광효솔교고.통과대양품적로슬복배산사(RBS)능보측량,대양품적표면결구진행료탐토,병토론료표면결구여광치발광특성지간적련계.대양품적발광궤리작료초보탐토.
