氢化非晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析
경화비정규박막중경함량급건합모식적홍외분석
Infrared analysis on hydrogen content and Si-H bonding configurations of hydrogenated amorphous silicon films
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2003年 1期 169-174 ,共6页

    罗志%林璇英%林舜辉%余楚迎%林揆训%余云鹏%谭伟锋

    라지%림선영%림순휘%여초영%림규훈%여운붕%담위봉

    氢化非晶硅薄膜,红外吸收谱,氢含量%硅-氢键合模式 氫化非晶硅薄膜,紅外吸收譜,氫含量%硅-氫鍵閤模式
    경화비정규박막,홍외흡수보,경함량%규-경건합모식
    Fourier红外透射(FTIR)谱技术是研究氢化非晶硅(a-Si∶H)薄膜中氢的含量(CH)及硅-氢键合模式(Si-Hn)最有效的手段.对用等离子体化学气相沉积(PCVD)方法在不同的衬底温度(Ts)下制备出的氢化非晶硅薄膜,通过红外透射光谱的基线拟合、高斯拟合分析,得到了薄膜中的氢含量,硅氢键合模式及其组分,并分析了这些参量随衬底温度变化的规律.
    Fourier홍외투사(FTIR)보기술시연구경화비정규(a-Si∶H)박막중경적함량(CH)급규-경건합모식(Si-Hn)최유효적수단.대용등리자체화학기상침적(PCVD)방법재불동적츤저온도(Ts)하제비출적경화비정규박막,통과홍외투사광보적기선의합、고사의합분석,득도료박막중적경함량,규경건합모식급기조분,병분석료저사삼량수츤저온도변화적규률.
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