复合绒面透明导电薄膜研究
복합융면투명도전박막연구
STUDY OF MULTIPLE TEXTURED TRANSPARENT CONDUCTIVE FILMS
  • 万方数据
    太阳能学报 태양능학보
    ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
    2003年 3期 344-347 ,共4页

    朱锋%周祯华%熊绍珍%吴春亚%李洪波%麦耀华%薛俊明%耿新华

    주봉%주정화%웅소진%오춘아%리홍파%맥요화%설준명%경신화

    SnO2%复合绒面膜%直流反应磁控溅射%透明导电薄膜 SnO2%複閤絨麵膜%直流反應磁控濺射%透明導電薄膜
    SnO2%복합융면막%직류반응자공천사%투명도전박막
    在常规非晶硅电池绒面SnO2衬底上,采用Zn:Al重量比为5%的金属靶直流反应磁控溅射沉积ZnO,构成复合绒面SnO2/ZnO透明导电膜.控制适当ZnO厚度,既能保持SnO2绒面效果,又可阻挡H离子对SnO2的还原作用,可作为微晶硅电池的前电极.文中对ZnO沉积条件以及复合膜的形貌、电光性能进行了讨论.
    재상규비정규전지융면SnO2츤저상,채용Zn:Al중량비위5%적금속파직류반응자공천사침적ZnO,구성복합융면SnO2/ZnO투명도전막.공제괄당ZnO후도,기능보지SnO2융면효과,우가조당H리자대SnO2적환원작용,가작위미정규전지적전전겁.문중대ZnO침적조건이급복합막적형모、전광성능진행료토론.
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