中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2005年
3期
327-330
,共4页
吴云峰%叶玉堂%王兵学%杨先明%秦宇伟
吳雲峰%葉玉堂%王兵學%楊先明%秦宇偉
오운봉%협옥당%왕병학%양선명%진우위
激光技术%激光微细加工%单片集成光接收机%激光诱导扩散%温度分布均匀化
激光技術%激光微細加工%單片集成光接收機%激光誘導擴散%溫度分佈均勻化
격광기술%격광미세가공%단편집성광접수궤%격광유도확산%온도분포균균화
用连续波激光诱导扩散制作单片集成光接收机中的探测器时,激光照射形成的高温区面积很小.当入射激光焦斑光强为高斯分布甚至"平顶帽形"分布时,微小扩散区温度分布的均匀性都不能达到实验的要求.提出了用掩模对入射高斯光束进行空间调制的方法来实现扩散区温度的均匀化.该方法的关键是计算出实现均匀的温度分布所需要的焦斑光强分布参数.给出了计算方法和计算实例.结果表明,均匀化后,在扩散区平均温度上升值为500 K时,扩散区内的最大温度差为3.9 K,并且高温区的温度分布接近"平顶帽形".
用連續波激光誘導擴散製作單片集成光接收機中的探測器時,激光照射形成的高溫區麵積很小.噹入射激光焦斑光彊為高斯分佈甚至"平頂帽形"分佈時,微小擴散區溫度分佈的均勻性都不能達到實驗的要求.提齣瞭用掩模對入射高斯光束進行空間調製的方法來實現擴散區溫度的均勻化.該方法的關鍵是計算齣實現均勻的溫度分佈所需要的焦斑光彊分佈參數.給齣瞭計算方法和計算實例.結果錶明,均勻化後,在擴散區平均溫度上升值為500 K時,擴散區內的最大溫度差為3.9 K,併且高溫區的溫度分佈接近"平頂帽形".
용련속파격광유도확산제작단편집성광접수궤중적탐측기시,격광조사형성적고온구면적흔소.당입사격광초반광강위고사분포심지"평정모형"분포시,미소확산구온도분포적균균성도불능체도실험적요구.제출료용엄모대입사고사광속진행공간조제적방법래실현확산구온도적균균화.해방법적관건시계산출실현균균적온도분포소수요적초반광강분포삼수.급출료계산방법화계산실례.결과표명,균균화후,재확산구평균온도상승치위500 K시,확산구내적최대온도차위3.9 K,병차고온구적온도분포접근"평정모형".
