真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
5期
404-407
,共4页
赵方红%庄大明%张弓%姬杨玲
趙方紅%莊大明%張弓%姬楊玲
조방홍%장대명%장궁%희양령
基体温度%ZGO薄膜%磁控溅射%电阻率%透射率
基體溫度%ZGO薄膜%磁控濺射%電阻率%透射率
기체온도%ZGO박막%자공천사%전조솔%투사솔
利用中频磁控溅射方法,溅射Ga2O3含量为5.7wt.%的氧化锌镓陶瓷靶材,在不同的基体温度下制备了ZGO薄膜.研究了基体温度对ZGO薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响.结果表明:基体温度对薄膜的晶体结构、近红外反射率和透射率曲线以及薄膜的导电性能有较大影响.当基体温度为400℃,溅射功率密度为2.93W/cm2,氩气压力为0.5 Pa时,薄膜的电阻率低达4.5×10-4Ω·cm,方块电阻为13 Ω,平均可见光(λ=400 nm～800 nm)透射率高于90%.
利用中頻磁控濺射方法,濺射Ga2O3含量為5.7wt.%的氧化鋅鎵陶瓷靶材,在不同的基體溫度下製備瞭ZGO薄膜.研究瞭基體溫度對ZGO薄膜的晶體結構、電學和光學性能的影響.結果錶明:基體溫度對薄膜的晶體結構、近紅外反射率和透射率麯線以及薄膜的導電性能有較大影響.噹基體溫度為400℃,濺射功率密度為2.93W/cm2,氬氣壓力為0.5 Pa時,薄膜的電阻率低達4.5×10-4Ω·cm,方塊電阻為13 Ω,平均可見光(λ=400 nm～800 nm)透射率高于90%.
이용중빈자공천사방법,천사Ga2O3함량위5.7wt.%적양화자가도자파재,재불동적기체온도하제비료ZGO박막.연구료기체온도대ZGO박막적정체결구、전학화광학성능적영향.결과표명:기체온도대박막적정체결구、근홍외반사솔화투사솔곡선이급박막적도전성능유교대영향.당기체온도위400℃,천사공솔밀도위2.93W/cm2,아기압력위0.5 Pa시,박막적전조솔저체4.5×10-4Ω·cm,방괴전조위13 Ω,평균가견광(λ=400 nm～800 nm)투사솔고우90%.
