MEMS微梁疲劳频率特性测试与分析
MEMS미량피로빈솔특성측시여분석
Test and analyse on a frequency characteristic of a micro beam of MEMS
  • 万方数据
    功能材料与器件学报 공능재료여기건학보
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
    2008年 1期 89-92 ,共4页

    兰之康%唐洁影

    란지강%당길영

    MEMS%疲劳%梁%谐振频率 MEMS%疲勞%樑%諧振頻率
    MEMS%피로%량%해진빈솔
    多晶硅双端固支梁是MEMS器件中最常用的组件之一,它的疲劳特性直接关系到器件的寿命及安全性.本文针对多晶硅微梁结构进行疲劳可靠性测试,在对其施加循环静电激励后,测试了它的频率变化特性.并分析了频率向高频移动的原因,从而说明了梁的疲劳特性.
    다정규쌍단고지량시MEMS기건중최상용적조건지일,타적피로특성직접관계도기건적수명급안전성.본문침대다정규미량결구진행피로가고성측시,재대기시가순배정전격려후,측시료타적빈솔변화특성.병분석료빈솔향고빈이동적원인,종이설명료량적피로특성.
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