微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
6期
40-44
,共5页
马绍宇%韩雁%董树荣%李侃%周海峰
馬紹宇%韓雁%董樹榮%李侃%週海峰
마소우%한안%동수영%리간%주해봉
质量传感器%薄膜体声波谐振器%灵敏度%固态装配型谐振器
質量傳感器%薄膜體聲波諧振器%靈敏度%固態裝配型諧振器
질량전감기%박막체성파해진기%령민도%고태장배형해진기
介绍了一种针对于生物传感应用的薄膜体声波谐振(thin film bulk acoustic resonator,FBAR)质量传感器.薄膜体声波谐振器谐振频率非常高(能够达到几兆赫兹),同时具有较大的品质因数,基于这种器件的质量传感器具有非常高的质量灵敏度.首次提出了三对全金属的A1-W层作为布拉格声学反射层的FBAR,制备出了固态装配型的FBAR传感器.通过淀积不同厚度Al层顶电极分析了器件的质量灵敏度,仿真得到的质量传感器串联谐振频率在2.8 GHz附近,质量响应度达到5×10-4 ng/Hz//cm2,可以实现分子量级的质量传感.
介紹瞭一種針對于生物傳感應用的薄膜體聲波諧振(thin film bulk acoustic resonator,FBAR)質量傳感器.薄膜體聲波諧振器諧振頻率非常高(能夠達到幾兆赫玆),同時具有較大的品質因數,基于這種器件的質量傳感器具有非常高的質量靈敏度.首次提齣瞭三對全金屬的A1-W層作為佈拉格聲學反射層的FBAR,製備齣瞭固態裝配型的FBAR傳感器.通過澱積不同厚度Al層頂電極分析瞭器件的質量靈敏度,倣真得到的質量傳感器串聯諧振頻率在2.8 GHz附近,質量響應度達到5×10-4 ng/Hz//cm2,可以實現分子量級的質量傳感.
개소료일충침대우생물전감응용적박막체성파해진(thin film bulk acoustic resonator,FBAR)질량전감기.박막체성파해진기해진빈솔비상고(능구체도궤조혁자),동시구유교대적품질인수,기우저충기건적질량전감기구유비상고적질량령민도.수차제출료삼대전금속적A1-W층작위포랍격성학반사층적FBAR,제비출료고태장배형적FBAR전감기.통과정적불동후도Al층정전겁분석료기건적질량령민도,방진득도적질량전감기천련해진빈솔재2.8 GHz부근,질량향응도체도5×10-4 ng/Hz//cm2,가이실현분자량급적질량전감.
