CAJ | 학술논문

采用磁过滤阴极弧法,以金属zr为阴极在真空室中通人C2H2和N2混合气体来制备纳米nc-ZrcN/a-c:H(N)复合薄膜,用X射线衍射(XRD)、扫描电镜的能谱仪(SEM-EDS)、X射线电子能谱(XPS)和纳米力学探针研究了薄膜的成分、结构及其性能.实验结果表明薄膜是由ZrCN和无定形碳两种纳米结构组成;气体流速对复合膜的的成分和结构有显著影响:随着混合气体流速的增加,薄膜的锆原子百分比减小,而N和C的含量逐渐增大,薄膜的硬度逐渐减小,ZrCN峰强度逐渐降低.
채용자과려음겁호법,이금속zr위음겁재진공실중통인C2H2화N2혼합기체래제비납미nc-ZrcN/a-c:H(N)복합박막,용X사선연사(XRD)、소묘전경적능보의(SEM-EDS)、X사선전자능보(XPS)화납미역학탐침연구료박막적성분、결구급기성능.실험결과표명박막시유ZrCN화무정형탄량충납미결구조성;기체류속대복합막적적성분화결구유현저영향:수착혼합기체류속적증가,박막적고원자백분비감소,이N화C적함량축점증대,박막적경도축점감소,ZrCN봉강도축점강저.