中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2009年
5期
1195-1199
,共5页
肖祁陵%邵淑英%邵建达%范正修
肖祁陵%邵淑英%邵建達%範正脩
초기릉%소숙영%소건체%범정수
薄膜%残余应力%YSZ薄膜%氧分压%沉积速率
薄膜%殘餘應力%YSZ薄膜%氧分壓%沉積速率
박막%잔여응력%YSZ박막%양분압%침적속솔
采用摩尔分数为7%的Y2O3掺杂的ZrO2混合烧结料为原料,在不同的氧分压和沉积速率下用电子柬蒸发方法沉积氧化钇稳定氧化锫(YSZ)薄膜样品.利用ZYGO Mark Ⅲ-GPI数字波面干涉仪对YSZ薄膜的残余应力进行了研究,讨论了氧分压和沉积速率等工艺参量对残余应力的影响.实验结果表明,不同氧分压和沉积速率下,YSZ薄膜的残余应力均为张应力;应力值随氧分压的升高先增大后减小,随沉积速率的增加单调增加.热应力对薄膜所呈现的张应力性质起着决定性作用,同时应力值的大小受本征应力和附加应力的影响.通过对样品的X射线衍射(XRD)测试,结合薄膜微结构的变化,对应力的形成原因进行了解释.
採用摩爾分數為7%的Y2O3摻雜的ZrO2混閤燒結料為原料,在不同的氧分壓和沉積速率下用電子柬蒸髮方法沉積氧化釔穩定氧化锫(YSZ)薄膜樣品.利用ZYGO Mark Ⅲ-GPI數字波麵榦涉儀對YSZ薄膜的殘餘應力進行瞭研究,討論瞭氧分壓和沉積速率等工藝參量對殘餘應力的影響.實驗結果錶明,不同氧分壓和沉積速率下,YSZ薄膜的殘餘應力均為張應力;應力值隨氧分壓的升高先增大後減小,隨沉積速率的增加單調增加.熱應力對薄膜所呈現的張應力性質起著決定性作用,同時應力值的大小受本徵應力和附加應力的影響.通過對樣品的X射線衍射(XRD)測試,結閤薄膜微結構的變化,對應力的形成原因進行瞭解釋.
채용마이분수위7%적Y2O3참잡적ZrO2혼합소결료위원료,재불동적양분압화침적속솔하용전자간증발방법침적양화을은정양화부(YSZ)박막양품.이용ZYGO Mark Ⅲ-GPI수자파면간섭의대YSZ박막적잔여응력진행료연구,토론료양분압화침적속솔등공예삼량대잔여응력적영향.실험결과표명,불동양분압화침적속솔하,YSZ박막적잔여응력균위장응력;응력치수양분압적승고선증대후감소,수침적속솔적증가단조증가.열응력대박막소정현적장응력성질기착결정성작용,동시응력치적대소수본정응력화부가응력적영향.통과대양품적X사선연사(XRD)측시,결합박막미결구적변화,대응력적형성원인진행료해석.
