人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2005年
1期
102-106
,共5页
袁欣%沈德忠%王晓青%沈光球
袁訢%瀋德忠%王曉青%瀋光毬
원흔%침덕충%왕효청%침광구
CLBO晶体%离子束刻蚀%表面粗糙度%原子力显微镜
CLBO晶體%離子束刻蝕%錶麵粗糙度%原子力顯微鏡
CLBO정체%리자속각식%표면조조도%원자력현미경
本文研究了在不同作用时间、不同工件转速、不同入射角度等条件下离子束对CLBO晶体抛光表面的处理效果.用原子力显微镜来观察和比较了CLBO晶体抛光表面处理前后的形貌和粗糙度.试验结果显示,离子束刻蚀的时间并非越长越好;较大的工件转速使晶体表面粗糙度变大;当离子束入射角度在30～60°之间时,处理后晶体表面粗糙度均变小,90°入射时,粗糙度明显增大.试验证明,离子束处理对晶体抛光表面粗糙度Rz值影响较之Ra值更大.
本文研究瞭在不同作用時間、不同工件轉速、不同入射角度等條件下離子束對CLBO晶體拋光錶麵的處理效果.用原子力顯微鏡來觀察和比較瞭CLBO晶體拋光錶麵處理前後的形貌和粗糙度.試驗結果顯示,離子束刻蝕的時間併非越長越好;較大的工件轉速使晶體錶麵粗糙度變大;噹離子束入射角度在30～60°之間時,處理後晶體錶麵粗糙度均變小,90°入射時,粗糙度明顯增大.試驗證明,離子束處理對晶體拋光錶麵粗糙度Rz值影響較之Ra值更大.
본문연구료재불동작용시간、불동공건전속、불동입사각도등조건하리자속대CLBO정체포광표면적처리효과.용원자력현미경래관찰화비교료CLBO정체포광표면처리전후적형모화조조도.시험결과현시,리자속각식적시간병비월장월호;교대적공건전속사정체표면조조도변대;당리자속입사각도재30～60°지간시,처리후정체표면조조도균변소,90°입사시,조조도명현증대.시험증명,리자속처리대정체포광표면조조도Rz치영향교지Ra치경대.
