应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2006年
3期
208-210
,共3页
红外双半波滤光片%膜系设计%间隔层%低折射率材料%高折射率材料
紅外雙半波濾光片%膜繫設計%間隔層%低摺射率材料%高摺射率材料
홍외쌍반파려광편%막계설계%간격층%저절사솔재료%고절사솔재료
针对唐晋发、郑权老师在<应用薄膜光学>一书中介绍的采用低折射率材料做间隔层,用16个λ/4层完成红外双半波滤光片的设计方法制作的薄膜易发生断裂,该文给出该膜系另一种设计计算方法,即采用高折射率材料做间隔层,用12个λ/4完成膜系设计.与前者相比,该方法节省了材料和时间.同时给出了镀制该膜系的工艺要点,并对镀膜过程中的初始真空度、蒸镀温度和2种材料的蒸发速率做了说明.指出在该工艺实施过程中,首先使用离子源对基底进行活化轰击,然后在蒸镀硫化锌和锗的过程中用离子源进行辅助蒸镀,可得到非常牢固的膜层.
針對唐晉髮、鄭權老師在<應用薄膜光學>一書中介紹的採用低摺射率材料做間隔層,用16箇λ/4層完成紅外雙半波濾光片的設計方法製作的薄膜易髮生斷裂,該文給齣該膜繫另一種設計計算方法,即採用高摺射率材料做間隔層,用12箇λ/4完成膜繫設計.與前者相比,該方法節省瞭材料和時間.同時給齣瞭鍍製該膜繫的工藝要點,併對鍍膜過程中的初始真空度、蒸鍍溫度和2種材料的蒸髮速率做瞭說明.指齣在該工藝實施過程中,首先使用離子源對基底進行活化轟擊,然後在蒸鍍硫化鋅和鍺的過程中用離子源進行輔助蒸鍍,可得到非常牢固的膜層.
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