材料科学与工艺
材料科學與工藝
재료과학여공예
MATERIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
4期
408-411
,共4页
刘健敏%夏义本%王林军%阮建锋%苏青峰%蒋丽雯%史伟民
劉健敏%夏義本%王林軍%阮建鋒%囌青峰%蔣麗雯%史偉民
류건민%하의본%왕림군%원건봉%소청봉%장려문%사위민
自支撑金刚石膜%表面粗糙度%氧化锌薄膜%声表面波器件
自支撐金剛石膜%錶麵粗糙度%氧化鋅薄膜%聲錶麵波器件
자지탱금강석막%표면조조도%양화자박막%성표면파기건
使用纳米金刚石粉研磨工艺预处理硅片衬底抛光面,在低气压成核的条件下,以丙酮和氢气为反应物,采用传统的热丝辅助化学气相沉积法,制备了自支撑金刚石膜;通过射频磁控溅射法沉积氧化锌薄膜在自支撑金刚石膜的成核面,形成氧化锌/自支撑金刚石膜结构.通过光学显微镜、扫描电镜及原子力显微镜测试自支撑金刚石膜成核面的表面形貌.研究结果表明:成核期的低气压有助于提高成核密度,成核面表面粗糙度约为1.5 nm;拉曼光谱显示1334 cm-1附近尖锐的散射峰与金刚石SP3键相对应,成核面含有少量的石墨相,且受到压应力的作用;ZnO/自支撑金刚石膜结构的XRD谱显示,氧化锌薄膜有尖锐的(002)面衍射峰,是c轴择优取向生长的.
使用納米金剛石粉研磨工藝預處理硅片襯底拋光麵,在低氣壓成覈的條件下,以丙酮和氫氣為反應物,採用傳統的熱絲輔助化學氣相沉積法,製備瞭自支撐金剛石膜;通過射頻磁控濺射法沉積氧化鋅薄膜在自支撐金剛石膜的成覈麵,形成氧化鋅/自支撐金剛石膜結構.通過光學顯微鏡、掃描電鏡及原子力顯微鏡測試自支撐金剛石膜成覈麵的錶麵形貌.研究結果錶明:成覈期的低氣壓有助于提高成覈密度,成覈麵錶麵粗糙度約為1.5 nm;拉曼光譜顯示1334 cm-1附近尖銳的散射峰與金剛石SP3鍵相對應,成覈麵含有少量的石墨相,且受到壓應力的作用;ZnO/自支撐金剛石膜結構的XRD譜顯示,氧化鋅薄膜有尖銳的(002)麵衍射峰,是c軸擇優取嚮生長的.
사용납미금강석분연마공예예처리규편츤저포광면,재저기압성핵적조건하,이병동화경기위반응물,채용전통적열사보조화학기상침적법,제비료자지탱금강석막;통과사빈자공천사법침적양화자박막재자지탱금강석막적성핵면,형성양화자/자지탱금강석막결구.통과광학현미경、소묘전경급원자력현미경측시자지탱금강석막성핵면적표면형모.연구결과표명:성핵기적저기압유조우제고성핵밀도,성핵면표면조조도약위1.5 nm;랍만광보현시1334 cm-1부근첨예적산사봉여금강석SP3건상대응,성핵면함유소량적석묵상,차수도압응력적작용;ZnO/자지탱금강석막결구적XRD보현시,양화자박막유첨예적(002)면연사봉,시c축택우취향생장적.
