实验力学
實驗力學
실험역학
JOURNAL OF EXPERIMENTAL MECHANICS
2007年
1期
49-56
,共8页
马显锋%吴艳青%牛莉莎%施惠基
馬顯鋒%吳豔青%牛莉莎%施惠基
마현봉%오염청%우리사%시혜기
纳米压痕%纳米划痕%硬度%弹性模量%临界附着力
納米壓痕%納米劃痕%硬度%彈性模量%臨界附著力
납미압흔%납미화흔%경도%탄성모량%림계부착력
对利用射频磁控溅射及真空退火方法在(100)硅晶片衬底上制备的纳米晶碳化硅(SiC)薄膜,用纳米压痕仪进行了力学性能测试分析.纳米压痕技术测试给出两块SiC薄膜样品I和II的弹性模量/硬度分别约为106GPa/9.5GPa和175GPa/15.6GPa.纳米划痕技术测试两块SiC薄膜的摩擦系数分别约为0.02～0.15和0.05～0.18,显示出良好的润滑性能;对薄膜的临界附着力等进行测量以评价膜基结合强度,分析了划痕过程中薄膜近表面弹塑性变形和断裂信息.在原子力显微镜下对SiC薄膜样品的初始表面及残余压痕和划痕形貌进行了观察分析,与测试结果相符.综合比较,样品II的整体性能优于样品I.本文中薄膜的弹性模量和硬度值较低可归因于制膜技术的不同和表层碳含量偏高.
對利用射頻磁控濺射及真空退火方法在(100)硅晶片襯底上製備的納米晶碳化硅(SiC)薄膜,用納米壓痕儀進行瞭力學性能測試分析.納米壓痕技術測試給齣兩塊SiC薄膜樣品I和II的彈性模量/硬度分彆約為106GPa/9.5GPa和175GPa/15.6GPa.納米劃痕技術測試兩塊SiC薄膜的摩抆繫數分彆約為0.02～0.15和0.05～0.18,顯示齣良好的潤滑性能;對薄膜的臨界附著力等進行測量以評價膜基結閤彊度,分析瞭劃痕過程中薄膜近錶麵彈塑性變形和斷裂信息.在原子力顯微鏡下對SiC薄膜樣品的初始錶麵及殘餘壓痕和劃痕形貌進行瞭觀察分析,與測試結果相符.綜閤比較,樣品II的整體性能優于樣品I.本文中薄膜的彈性模量和硬度值較低可歸因于製膜技術的不同和錶層碳含量偏高.
대이용사빈자공천사급진공퇴화방법재(100)규정편츤저상제비적납미정탄화규(SiC)박막,용납미압흔의진행료역학성능측시분석.납미압흔기술측시급출량괴SiC박막양품I화II적탄성모량/경도분별약위106GPa/9.5GPa화175GPa/15.6GPa.납미화흔기술측시량괴SiC박막적마찰계수분별약위0.02～0.15화0.05～0.18,현시출량호적윤활성능;대박막적림계부착력등진행측량이평개막기결합강도,분석료화흔과정중박막근표면탄소성변형화단렬신식.재원자력현미경하대SiC박막양품적초시표면급잔여압흔화화흔형모진행료관찰분석,여측시결과상부.종합비교,양품II적정체성능우우양품I.본문중박막적탄성모량화경도치교저가귀인우제막기술적불동화표층탄함량편고.
